近物理学、材料学以及精密制造的极限,但日本那边是有机会的”方卓摇头道,“尼康加入不了EUVLLC联盟,我们面临更极端的地缘政治因素,这方面是更难了”
EUVLLC联盟是英特尔和美国能源为了验证EUV光刻机可行性而牵头成立的,包括了摩托罗拉、AMD、IBM和劳伦斯利弗莫尔、桑迪亚、劳伦斯伯克利三大实验室等成员
英特尔曾经力邀尼康的加入,但因为美国的阻挠,最后还是排除在外
“尼康是要造光刻机,冰芯是要买,程度还有不同”江上洲缓缓说道,“但晚买不如早买,冰芯的制程越逼近先进水平,这个EUV越是不好买”