产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试
如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致
“芯材走在了正确的路上”
这是来自晶圆制造联盟的评价
可惜,眼下的局面略显急迫
阿美严选的压力已经施加过来,后续追加措施也隐约可见,鉴于如此形势,冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设,只要ArF出了成果,初期的成本高一些都没问题
但是,南大光电、芯刻微材料、新阳等参与研发的公司不太想同意这样的冒进
“张总,我们的上一次测试结论已经出来了,现有工艺不适合大规模生产,现在最重要的还是找出问题,看看怎么精细调整配方中的各组分比例,不然没法保持相同的化学性质和光刻性能……这个时候说什么建厂不建厂……”南大光电驻芯材的研发组长李亚磊吞吞吐吐的说道,“不合适啊”