第481章 真假1微米（4）
“这些CMP技术也要交给我们俩弄吗？”
今天得到信息量太大了两个年轻人很有种目不暇接的感觉
多重图案技术，一听就明白，也就敢照亮照亮但是CMP技术，涉及的就是就是真刀真枪了
机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工精度，这里面就没有一个是简单的
他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时间太短，基础知识不牢靠
“这几个技术，我会交给其他人进行研发”
这个CMP技术，也很重要，但它就没有保密的必要了因为它本身就是一个公开的技术现在就是比，谁先采用了早采用，早受益它完全可以光明正大的搞起来
这也是为什么这个技术，被叫做真1微米的原因
CMP技术摆在前台做幌子，多重图案技术藏在后面
“是要交給赵主任他们吗？”
“我会另外安排你们就不用管了”
这确实是个令人头疼的问题
工大在集成电路工艺上面，这两年也做出了些成果，但毕竟底蕴不足
另外，术业有专攻只靠一个专业的十几个人，去包打天下，根本就不现实
赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面，狂奔了起来那么就让他们继续走下去吧
这些技术，很多都是系统性的它甚至不是靠一两台设备，一两个设备厂家能搞定的
引入第三方力量，就是必须
不过这个事情不急幌子的作用，主要还是幌子
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“我们现在干什么？”
“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看LELE和SAMP这两条路，哪一条更容易实现，难度最低”
多重图案技术法，有两条实现路线一条是LELE，另一条是SAMP.
LELE是将设计版图分解成两套独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案
SAMP是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积（Deposition）在核心图案两侧形成侧墙（SideWall），最后通过刻蚀（Etch）和修剪曝光来实现所要的图形
“这两条路，是你提出来的，你自己不知道？”
严亮觉得这个事情有点奇怪
“我又没有自己动手做过，我哪里知道？”
“这真是你自己的想法？”
“你问这么多干什么？好奇心太大，会害死猫，你不知道吗？”
“我们又不是猫！不说算了，谁稀罕！”
一个人又不是生活在真空里，只要时间长了，总是要漏出些马脚的以前，成永兴每次还会去找借口解释，慢慢的，他连借口都懒得找了
这也是他只相信身边这几个人的缘故至少这些同学，同乡，他信得过
可惜了，当初的黄埔军团，只剩下这两