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第478章 真假1微米(1)(3)

们一提起半导体设备,被津津乐道的,就是光刻机大家普遍认为,光刻机是中国在半导体工艺上落后的唯一瓶颈

这句话对,也不对

对,是因为,中国在半导体工艺领域,被甩得最远的代表设备就是光刻机

其他设备,例如蚀刻设备等,它们与国际先进水平,即使有些差距,差距也没有这么大,甚至某些设备,国产设备已经开始反攻国际市场

光刻机决定半导体制程的情况,仅仅是出现在2005年之后这就是地球人都知道的,ASML的天王山之战

ASML在浸入式光刻机上,打了场翻身仗,一举把日本的几家竞争对手掀翻在地,从而奠定了在光刻机市场的垄断地位

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但实际上,在2005年的前后,决定半导体芯片制程的几个核心技术,都不是光刻机因为此时,光波的波长,还没有撞到极限(193nm).

中国已经有了微米的光刻机,但是其他辅助工艺,达不到这么高的精度

几十年来,对光刻设备的要求主要基于摩尔定律,通过减小波长和增大数值孔径(NA)来获得更高分辨率

但是激光的可用波长就那么几个,激光波长减少几次,就无以为继了

2004年开始,光刻机就开始使用193nm波长的DUV激光,谁也没想到,光刻光源被卡在193nm无法进步长达十几年

哪怕采用了沉浸式光刻机,也仅仅是使晶圆工艺成功突破了几个节点

过了一段时间,半导体工艺的工艺演进路线,再次遇到了类似的问题后世的14nm,10nm,7nm的技术突破都不是通过升级光刻机来实现的

在光刻机无法升级的情况下,为了突破这个障碍,人们开始寻找别的突围方向

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随着科学家们的脑洞大开,一个行之有效的方法,真的被找到了!

更为可喜的是,这个方法思路非常简单,而且特别适合这个时代

在完全在不改变设备技术水平的情况下,可以提高晶圆的制程!

之所以这个方法没有被广泛宣传,是因为所有的晶圆厂都在使用大家都在用的技术,自然就失去了神秘性和趣味性

灯下黑,指的就是这种情况

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